半导体封装对温度控制的精度要求极高,温度偏差超过±2℃即可能导致芯片与基板剥离、塑封料开裂等缺陷。高温模温机通过精准控温与快速响应,成为保障封装良率与可靠性的“温度核心”,并随着先进封装技术的发展不断迭代升级。
芯片粘接:低温固化与应力控制
在芯片与基板的粘接环节,高温模温机通过循环导热油为加热板提供稳定温度。例如,搏佰机械为某封装厂定制的150℃高温油温机,采用PID+模糊控制算法,将加热板温度波动控制在±0.5℃以内,确保环氧树脂在最佳温度下固化,减少热应力对芯片的影响。该技术使封装良率从92%提升至98%,单台设备年节约返工成本超200万元。

塑封成型:高温高压下的均匀传热
在塑封料注射成型过程中,模温机需同时满足高温(175℃-190℃)与高压(100MPa-150MPa)要求。东莞市携成智能装备有限公司的“半导体塑封专用模温机”,通过高压密封设计与不锈钢螺旋管路,确保导热油在高压下不泄漏。同时,设备搭载的动态压力补偿系统,可根据塑封料粘度变化自动调整加热功率,使模具温度均匀性达±1℃,避免塑封体内部空洞。
先进封装:适应3D堆叠与系统级封装
随着3D堆叠(TSV)与系统级封装(SiP)技术的普及,模温机需适应更复杂的温控场景。例如,在TSV封装中,模温机需同时控制硅通孔填充材料的温度与模具温度,温差需控制在±1℃以内。搏佰机械推出的“多通道模温机”,可独立控制8个温控区,满足先进封装对温度精度的极致要求。



